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CC800/9 HPPMS/HiPIMS

CC800/9-HPPMS bzw. HiPIMS-PVD-Anlage. Diese PVD-Anlage verfügt über 6 großflächige Verdampfer (500 * 88 mm). Zwei der Verdampfer können im HiPIMS-Modus betrieben werden, welcher kurze Plasmaimpulse im MW-Bereich erzeugt. Mit dieser Technologie können die Schichtsysteme in Ihren Eigenschaften noch weiter optimiert werden. Die anderen vier Verdampfer können wahlweise im DC- oder MF-Modus betrieben werden, was den heutigen Stand der Technik entspricht. Der Substrattisch kann im DC-, Mf- oder HiPIMS-Modus betrieben werden.

Ansprechpartner: Philip Dellinger

Technische Details:

  • 6 Verdampfer (2 x HiPIMS, 4 x DC- oder MF)
  • 4 Gase (Argon, Stickstoff, Krypton und Sauerstoff)
  • Drehtisch mit 6 Planeten – im DC-, MF- oder HiPIMS-Modus