Yttria coatings as wear protection layer in the semiconductor industry
| Kategorien |
Konferenz |
| Jahr | 2022 |
| Autoren | Nicolaus, M.; Benedde, M.; Walther, R.; Möhwald, K.; Maier, H. J. |
| Veröffentlicht in | DVS-Berichte, Band 380, DVS Media GmbH, Düsseldorf, S. 939-944 |
