ForschungPublikationen
PVD-Schichtabformung im µm-Bereich

PVD-Schichtabformung im µm-Bereich

Kategorien Konferenz
Jahr 2009
Autoren Bach, Fr.-W.; Möhwald, K.; Dellinger, P.
Veröffentlicht in Tagungsband des zweiten Workshops für Optische Technologien, 17.11.2008, S. 167-169. Garbsen: Verlag PZH Produktionstechnisches Zentrum GmbH, 2009.
ISBN 978-3-941416-17-8