ForschungPublikationen
Neue Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen über flüssige Phasen

Neue Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen über flüssige Phasen

Kategorien Konferenz
Jahr 2007
Autoren Michaeli, W.; Kamps, T.; Bach, Fr.-W.; Hartz, K.; Schmachtenberg, E.; Vetter, K.; Schmiederer, D.; Lurz, A.; Piotter, V.; Prokop, J.
Veröffentlicht in MikroSystemTechnik Kongress 2007 Proceedings, 15. - 17. Oktober 2007 in Dresden, S. 635-638. Berlin und Offenbach: VDE Verlag GmbH, 2007.
ISBN 978-3-8007-3061-2