Herstellung dichter Yttriumoxidbeschichtungen durch atmosphärisches Plasmaspritzen als Schutzschichten für die Halbleiterindustrie
| Kategorien |
Konferenz |
| Jahr | 2023 |
| Autorinnen/Autoren | Benedde, M.; Nicolaus, M.; Möhwald, K.; Maier, H. J.; Walther, R. |
| Veröffentlicht in | Tagungsband 5. Symposium Materialtechnik, 2023, 810 |
| ISBN | 978-3-8440-9105-2 |
