KooperationAusstattung
Schutzgasraum für XHV-adäquate Prozesse

Schutzgasraum für XHV-adäquate Prozesse

In dieser Handschuhbox wird mit nicht übertragenen thermischen Plasmalichtbögen gearbeitet. Dabei werden in Argon- oder Heliumatmosphäre mit Restsauerstoffgehalten < 25 ppm Untersuchungen zum Abschmelzverhalten und der Benetzung von Werkstoffen, Vorgängen an der Metalloberfläche und im Lichtbogen durchgeführt.

In dieser Handschuhbox wird mit nicht übertragenen thermischen Plasmalichtbögen gearbeitet. Dabei werden in Argon- oder Heliumatmosphäre mit Restsauerstoffgehalten < 25 ppm Untersuchungen zum Abschmelzverhalten und der Benetzung von Werkstoffen, Vorgängen an der Metalloberfläche und im Lichtbogen durchgeführt.

Der Schutzgasraum besteht hauptsächlich aus drei Teilen:

  • Schutzgaskammer zur Arbeit mit reaktiven Prozessgasen
  • Schleusensysteme
  • Eingriffen in der Frontscheibe

TECHNISCHE DATEN UND MERKMALE

  • geschlossene mit Schutzgas füllbare Arbeitskammer
  • Handhabung: manuell verstellbares 3-achs System (x ca. 100 mm; y ca. 100 mm, z ca. 600 mm)
  • automatische Verfahreinheit Linearachse ca. 100 mm (Modus: Poti geregelt – hin/her)
  • Kammergröße: Höhe ca. 1350 mm; Breite ca. 1200 mm; Tiefe ca. 900 mm
  • Sauerstoffkontrolle: mittels Sauerstoffmessgerät
  • Arbeiten im leichten Überdruck durch steten Argonzustrom in die Kammer
  • Eingriff in den Arbeitsraum über 5 Handschuhöffnungen in der Frontscheibe
  • 2 Vakuumschleusensysteme    

GASE UND MEDIENVERSORGUNG

Füllgase:

  • Argon
  • Helium
  • Argon/Helium Gemische
  • Stickstoff
  • werden eingebracht über einen einstellbaren Volumenstrom
  • Füllzeit ca. 12-24 Stunden

Silanhaltige Prozessgase:

  • Argon N50 mit 1,5 Vol.% Silan UHP
  • Helium N46 mit 1,5 Vol.% Silan UHP
  • werden eingebracht über einen Kunststoffschlauch und mittels einer Gaskanüle auf den Reaktionsort gerichtet
  • Gassteuerung über ein Spezialmanometer, welches anschließend gespült werden muss
Dr.-Ing. Thomas Hassel
Leitung
Adresse
Lise-Meitner-Straße 1
30823 Garbsen
Gebäude
Raum
203
Dr.-Ing. Thomas Hassel
Leitung
Adresse
Lise-Meitner-Straße 1
30823 Garbsen
Gebäude
Raum
203