Institute for Material Science Research Publikationen
Aufbau einer RF-PVD Anlage zur Abscheidung sauerstoffaffiner Materialien für die Herstellung wärmegenerierender Systeme

Aufbau einer RF-PVD Anlage zur Abscheidung sauerstoffaffiner Materialien für die Herstellung wärmegenerierender Systeme

Categories Konferenz
Year 2014
Authors Wulff, D.; Langohr, A.; Dellinger, P.; Holländer, U.; Möhwald, K.
Published in Tagungsband zum 17. Werkstofftechnischen Kolloquium in Chemnitz, Schriftenreihe Werkstoffe und werkstofftechnische Anwendungen (52), Eigenverlag Chemnitz, S. 247–254
ISBN 978-3-00-046877-3