Metall-Kapillardruckgießen und Dampfphasen-Schmelzinfiltration: Zwei innovative Verfahren für das Herstellen metallischer Mikrobauteile
Categories |
Konferenz |
Year | 2007 |
Authors | Bach, Fr.-W.; Möhwald, K.; Hartz, K. |
Published in | Thomas Gessner (Hg.): Proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2007. 15. - 17. Oktober 2007 in Dresden ; gemeinsame Veranstaltung von: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF), VDE Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik. Berlin, Offenbach: VDE-Verl, S. 123–126 |
ISBN | 978-3-8007-3061-2 |