Influence of an Argon/Silane Atmosphere on the Temperature of a Thermal Plasma
| Kategorien |
Zeitschriften/Aufsätze |
| Jahr | 2026 |
| Autorinnen/Autoren | Kreie, L.; Kramer, D.; Scheithauer, T.; Maier, H. J.; Hassel, T. |
| Veröffentlicht in | Advanced Engineering Materials, 2026, e202502558 |
| DOI | 10.1002/adem.202502558 |
