Diese Anlage ist eine für das Projekt: „Entwicklung und Evaluation von Werkstoffsystemen für die Herstellung von Reaktionsloten aus Zintl-Phasen-bildenden Legierungen“ konzipierte RF-PVD-Anlage. Die Kammer wurde nach eigenen Angaben und Plänen hergestellt. Die Installierten Verdampfer sind 2`` groß und können abwechselnd im RF-Modus mit bis zu 300 W betrieben werden.

 

Ansprechpartner: Daniel Wulff und Philip Dellinger

Technische Details:

• 2 x 2`` RF-Verdampfer (alternierender Betrieb)