Technische Daten
| Regelbarer Temperaturbereich | 100 °C bis 1.200 °C |
| Gesamtlänge | 9550 mm |
| Länge beheizter Bereich | 1500 mm |
| Länge Kühlkanal (wassergekühlt) | 3000 mm |
| Förderbandbreite | 00 mm |
| Lichte Höhe des Kanals | 70 mm |
| Anzahl regelbarer Heizzonen | 3 mm |
| Einstellbare Verweilzeit im beheizten Bereich bei | 4 bis 40 min |
| Schutzgase (mischbar in allen Verhältnissen) | Stickstoff,Wasserstoff,Argon |
| Besonderheit | Dotierung des Prozessgases mit Monosilan |
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58453 Witten
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