M. Sc. Mareike Benedde

Konferenz

• Nicolaus, M.; Benedde, M.; Walther, R.; Möhwald, K.; Maier, H. J. (2022): Yttria coatings as wear protection layer in the semiconductor industry,  DVS-Berichte, Band 380, DVS Media GmbH, Düsseldorf, S. 939-944
• Benedde, M.; Nicolaus, M.; Möhwald, K.; Maier, H. J.; Walther, R. (2023): Herstellung dichter Yttriumoxidbeschichtungen durch atmosphärisches Plasmaspritzen als Schutzschichten für die Halbleiterindustrie,  Tagungsband 5. Symposium Materialtechnik, 2023, 810
  ISBN: 978-3-8440-9105-2