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Untersuchung des Einsatzes der PVD-Schichttransplantation zur Generierung neuartiger Oberflächen und Eigenschaften bei der Mikrobauteilfertigung

Untersuchung des Einsatzes der PVD-Schichttransplantation zur Generierung neuartiger Oberflächen und Eigenschaften bei der Mikrobauteilfertigung

E-Mail:  Projekte@iw.uni-hannover.de
Jahr:  2011
Datum:  31-10-13
Förderung:  DFG
Laufzeit:  bis 10/2013
Ist abgeschlossen:  ja

In diesem Projekt werden transplantierbare PVD-Schichtsysteme entwickelt. Die neuartigen Schichtsysteme ermöglichen die Herstellung von hochgenauen Strukturen (Strukturgröße < 1 µm) aus hochfesten Materialien. 

Für die Herstellung von runden Werkzeugen (z.B. Prägerollen) wurden holographische PVD-Schichten auf Stahlzylinder transplantiert.

Im Bild ist eine auf einem Stahl-Zylinder transplantierte CrN-PVD Schicht zusammen mit der verwendeten Masterform zu sehen.