Study of the electron-temperature and -density distribution in the silane-doped thermal plasma on the basis of optical emission spectroscopy
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Konferenz |
Jahr | 2022 |
Autoren | Hassel, T.; Bongartz, B.; Hao, C.; Viebranz, V. F. |
Veröffentlicht in | MSE 2022, Darmstadt, 27.09.2022-29.09.2022 |