Institut für Werkstoffkunde Forschung Publikationen
Study of the electron-temperature and -density distribution in the silane-doped thermal plasma on the basis of optical emission spectroscopy

Study of the electron-temperature and -density distribution in the silane-doped thermal plasma on the basis of optical emission spectroscopy

Kategorien Konferenz
Jahr 2022
Autoren Hassel, T.; Bongartz, B.; Hao, C.; Viebranz, V. F.
Veröffentlicht in MSE 2022, Darmstadt, 27.09.2022-29.09.2022