Aufbau einer RF-PVD Anlage zur Abscheidung sauerstoffaffiner Materialien für die Herstellung wärmegenerierender Systeme
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Konferenz |
Jahr | 2014 |
Autorinnen/Autoren | Wulff, D.; Langohr, A.; Dellinger, P.; Holländer, U.; Möhwald, K. |
Veröffentlicht in | Tagungsband zum 17. Werkstofftechnischen Kolloquium in Chemnitz, Schriftenreihe Werkstoffe und werkstofftechnische Anwendungen (52), Eigenverlag Chemnitz, S. 247–254 |
ISBN | 978-3-00-046877-3 |