Aufbau einer RF-PVD Anlage zur Abscheidung sauerstoffaffiner Materialien für die Herstellung wärmegenerierender Systeme
| Kategorien |
Konferenz |
| Jahr | 2014 |
| Autorinnen/Autoren | Wulff, D.; Langohr, A.; Dellinger, P.; Holländer, U.; Möhwald, K. |
| Veröffentlicht in | Tagungsband zum 17. Werkstofftechnischen Kolloquium in Chemnitz, Schriftenreihe Werkstoffe und werkstofftechnische Anwendungen (52), Eigenverlag Chemnitz, S. 247–254 |
| ISBN | 978-3-00-046877-3 |
