KooperationAusstattung
FE-REM-FIB-Zweistrahlsystem

FE-REM-FIB-ZWEISTRAHLSYSTEM

  FE-REM-FIB-Zweistrahlsystem Zeiss AURIGA 

  • FE-REM, Auflösung 1,2 nm, Strahlstrom max. 100 nA
  • Focused Ion Beam FIB: Ga-Ionen, Auflösung 2,5 nm
  • Gasinjektionssystem GIS 5-fach (Pt, C, W,...)
    • Charge Compensation
  • Mikromanipulator, In-situ-Plasmacleaner
  • Detektoren: SESI, 4Q-BSD, InLens SE, InLens EsB, STEM
  • Analytik: EDX, EBSD (Oxford)
    • 3D-Analytik
  • ATLAS-3D: FIB-Tomographie, Nano-Patterning
  • 3D-Visualisierungs-Software ORS visual SI

ANSPRECHPARTNER:

Dr.-Ing. Torsten Heidenblut
Leitung
Adresse
An der Universität 2
30823 Garbsen
Gebäude
Raum
010
Dr.-Ing. Torsten Heidenblut
Leitung
Adresse
An der Universität 2
30823 Garbsen
Gebäude
Raum
010