Technische Daten
Hersteller | VisiTec / Ellcie |
Typ | Mira VP |
Detektoren | QBSD, SE, VPSE, EDX |
Kontrastarten | Elementkontrast, Topographie, Elementanalyse/Mapping |
Auflösung | 20 nm |
Probenmaße | Durchmesser: 700 mm, Höhe: 600 mm |
Betriebsmodi | HV-Modus und VP-Modus für nichtleitende Proben |
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30823 Garbsen
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