Institute for Material Science Research Publications
Mit neuen Prozessketten zu wirtschaftlicher Mikrofertigung

Mit neuen Prozessketten zu wirtschaftlicher Mikrofertigung

Categories Zeitschriften/Aufsätze
Year 2007
Authors Michaeli, W.; Kamps, T.; Schmachtenberg, E.; Lurz, A.; Vetter, K.; Schmiederer, D.; Bach, Fr.-W.; Möhwald, K.; Hartz, K.; Piotter, V.; Prokop, J.
Published in Mikroproduktion, Nr. 4, S. 18-22, 2007.