PVD-Schichtabformung im µm-Bereich
| Categories |
Konferenz |
| Year | 2009 |
| Authors | Bach, Fr.-W.; Möhwald, K.; Dellinger, P. |
| Published in | Tagungsband des zweiten Workshops für Optische Technologien, 17.11.2008, S. 167-169. Garbsen: Verlag PZH Produktionstechnisches Zentrum GmbH, 2009. |
| ISBN | 978-3-941416-17-8 |
