Neue Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen über flüssige Phasen
| Categories |
Konferenz |
| Year | 2007 |
| Authors | Michaeli, W.; Kamps, T.; Bach, Fr.-W.; Hartz, K.; Schmachtenberg, E.; Vetter, K.; Schmiederer, D.; Lurz, A.; Piotter, V.; Prokop, J. |
| Published in | MikroSystemTechnik Kongress 2007 Proceedings, 15. - 17. Oktober 2007 in Dresden, S. 635-638. Berlin und Offenbach: VDE Verlag GmbH, 2007. |
| ISBN | 978-3-8007-3061-2 |
