Technische Daten
| Hersteller | VisiTec / Ellcie |
| Typ | Mira VP |
| Detektoren | QBSD, SE, VPSE, EDX |
| Kontrastarten | Elementenkontrast, Topographie, Elementanalyse/Mapping |
| Auflösung | 20 nm |
| Probenmaße | Durchmesser: 700 mm, Höhe: 600 mm |
| Betriebsmodi | HV-Modus und VP-Modus für nichtleitende Proben |
30823 Garbsen